Thẻ: Công nghệ vi mạch

Máy quang khắc (photolithography machine) là một thiết bị quan trọng trong ngành sản xuất vi mạch và bán dẫn. Công nghệ quang khắc cho phép tạo ra các cấu trúc siêu nhỏ trên bề mặt wafer silicon, là nền tảng của vi mạch điện tử hiện đại.